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场发射扫描电镜SU8010
徐飞   

特点:

1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能

6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

二次电子分辨率

1.0nm(加速电压15kV、WD=4mm)

1.3nm(加速电压1kV、WD=1.5mm)

加速电压

0.1~30kV

观测倍率

20~8000,000(底片输出)

60~2,000,000(显示器输出)

样品台

马达驱动

3轴马达

行程

X

0~50mm

Y

0~50mm

Z

360°

T

-5~70°

R

360°

最大装载尺寸

100mm(最大)

探头

Lower

高立体感图像

Upper

高分辨SE、BSE图像

反污染措施

冷指

标配

物镜光阑

内置自清洁功能

电子枪

内置加热器

真空系统

离子泵

3台

分子泵

1台

机械泵

1台

配件

真空转移盒

可在不暴露大气下实现样品转移观察功能

E-1045离子溅射仪

气压7-20Pa,样品最大直径60mm,最大高度20mm

冷冻干燥仪

叔丁醇置换,脱水置换时间≤10min

图 片:

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